潔凈工作臺過濾器檢漏、風速的校準方法

 過濾器檢漏

1) 光度計掃描法

使用多分散氣溶膠( 冷煙) 發生器向過濾器上 游側發濃度為 10μg /L 的 PAO-4 分散氣溶膠微粒并 將氣溶膠光度計示值標定為 100% ，

同時用氣溶膠 光度計的采樣探頭在過濾器下游側距過濾器出風 面 20 ～ 30mm 處，沿著過濾器整個出風面、過濾片的 邊緣等處進行掃描巡檢，

采樣流量為 28. 3L /min，巡 檢速度為15 ～ 30mm /s，氣溶膠光度計所顯示的結果 即為過濾器的穿透率。

2) 計數掃描法

當大氣層濃度足夠大( 對于高效過濾器工作 臺，上游粒徑≥0. 5μm 的氣溶膠濃度須大于等于 4000 個/L;

對于超高效過濾器工作臺，上游粒徑≥ 0. 3μm 的氣溶膠濃度須大于等于 6000 個/L) 時，可 選擇大氣層作為過濾器檢漏的測試，不滿足上述要 求時，

宜使用多分散 PAO-4 氣溶膠，同時用激光塵 埃粒子計數器的采樣器在過濾器下游側距過濾器 表面 20 ～ 30mm 處，沿著過濾器整個出風面、過濾片 的邊緣等處進行掃描巡檢，

采樣流量為 28. 3L /min， 掃描速度為15 ～ 30mm /s，激光塵埃粒子計數器所測 量的結果即為過濾器下游泄漏粒子濃度。

風速

1) 垂直氣流平均風速在距離內側壁板和窗口 100mm 圍成的，距出風 網板 100mm 處的平面區域內測量垂直氣流的平均 風速，測量點按行、列均為 150mm 的網格分布，各網 格中心點為測量點

，每個點測量 3 次，若去除測量邊 界后凈尺寸不等于 15 的整數倍，則允許修正測量點 距離，平均風速為各測量點讀數的平均值，計算如 式( 1) 所示

式中，V 為風速平均值，m /s; Vij為第 i 點第 j 次 測量值，m /s; n 為測量點數。

 2) 水平氣流平均風速 在距離內側壁板和窗口 100mm 圍成的，距出風 網板前側 100mm 處的平面區域內測量水平氣流的 平均風速，測量點按行、列均為 150mm 的網格分布，

各網格中心點為測量點，每個點測量 3 次，若去除測 量邊界后凈尺寸不等于 15 的整數倍，則允許修正測 量點距離，平均風速為各測量點讀數的平均值，計 算如式( 1) 所示。

3) 風速不均勻度 各測量點測量值的相對實驗標準偏差為風速 不均勻度，風速不均勻度 βV 計算如式( 2) 所示。